截至2025年5月27日 11:08，中证半导体材料设备主题指数下跌0.28%。成分股方面涨跌互现，广钢气体领涨2.14%，沪硅产业上涨1.67%，天岳先进上涨1.22%；拓荆科技领跌2.27%，长川科技下跌1.98%，金海通下跌1.96%。半导体材料ETF(562590)下跌0.47%，最新报价1.05元。拉长时间看，截至2025年5月26日，半导体材料ETF近1年累计上涨29.78%。

流动性方面，半导体材料ETF盘中换手0.96%，成交314.55万元。拉长时间看，截至5月26日，半导体材料ETF近1年日均成交1650.24万元，居可比基金前2。

规模方面，半导体材料ETF最新规模达3.31亿元，创近1月新高。

份额方面，半导体材料ETF最新份额达3.13亿份，创近1月新高。

从资金净流入方面来看，半导体材料ETF近4天获得连续资金净流入，最高单日获得738.20万元净流入，合计“吸金”1376.55万元，日均净流入达344.14万元。

跟踪精度方面，截至2025年5月26日，半导体材料ETF近1月跟踪误差为0.010%，在可比基金中跟踪精度最高。

消息面上，海光信息发布《海光信息技术股份有限公司关于筹划重大资产重组的停牌公告》，宣布正在筹划由海光信息通过向中科曙光全体A股换股股东发行A股股票的方式换股吸收合并中科曙光并发行A股股票募集配套资金。

东莞证券认为，本次合并有望实现国内信息产业优势企业资源的深度融合，加快国产芯片在政务、通信、金融、能源等场景的规模化应用，推动我国信息产业健康发展，并加快国内算力领域的整合与国产替代进程。建议关注国内算力与信息技术领域布局领先的企业。

半导体材料ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2025年4月30日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为北方华创(002371)、中微公司(688012)、沪硅产业(688126)、华海清科(688120)、南大光电(300346)、拓荆科技(688072)、鼎龙股份(300054)、长川科技(300604)、安集科技(688019)、雅克科技(002409)，前十大权重股合计占比62%。

半导体材料ETF(562590)，场外联接(华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A：020356；华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C：020357)。