半导体设备近期迎来密集催化，消息面上：1）大厂模型超预期，打开26年多模态、Agent商业落地预期；2）“史上最长”的春节连休，AI推广窗口期来临；3）一二线模型厂近期采购芯片意愿显著增强。

机构指出，因折旧压力，大厂通常不会维持高算力储备，需求井喷时刻，上游供应链将会快速拉紧，看好国产算力硬件。

截至2026年2月13日 13:50，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.08%，成分股富创精密上涨12.73%，耐科装备上涨8.13%，华兴源创上涨8.08%，京仪装备，中巨芯等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.11%，最新价报1.45元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年1月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、盛美上海，前十大权重股合计占比73.89%。