截至2025年9月24日 09:54，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.24%，成分股神工股份(688233)上涨18.36%，京仪装备(688652)上涨10.58%，盛美上海(688082)上涨10.32%，华海清科(688120)，芯源微(688037)等个股跟涨。科创半导体ETF鹏华(589020)上涨4.71%，最新价报1.16元。

半导体设备股反复活跃，长川科技、盛美上海涨超10%，京仪装备、北方华创涨超3%，均创历史新高。消息面上，盛美上海在互动平台表示，9月8日，公司宣布推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF。首台设备系统已于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户。

华泰证券指出，2Q25中国设备市场规模同比微降1%，半导体设备国产化率同比+6pct至21%。我们观察到本土龙头业绩有所分化，中微公司2Q25收入/归母净利润分别同比+51.3%/46.8%，而北方华创收入/归母净利润分别同比+22.5%/-1.6%。年初以来，A股主要设备公司股价跑输申万电子。短期内，存储的资本开支节奏和先进逻辑的良率是影响本土设备拉货节奏和业绩的主要原因。往后看，随着先进逻辑及存储的持续投入和晶圆厂的技术突破，长期看好设备国产化率提升。

科创半导体ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2025年8月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科(688120)、中微公司(688012)、沪硅产业(688126)、拓荆科技(688072)、中科飞测(688361)、安集科技(688019)、芯源微(688037)、华峰测控(688200)、盛美上海(688082)、天岳先进(688234)，前十大权重股合计占比71.5%。