2025年6月13日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收涨0.61%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出3287.33万元，居可比基金首位。

       拉长时间看，该基金近2天主力资金加速流出，合计流出5074.85万元，居可比基金首位。

       与此同时，该基金最新成交量为1.55亿份，最新成交额达1.53亿元，全市场排名较上一交易日下降20位。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。