2025年5月14日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收涨0.68%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流出1106.44万元，居可比基金首位。

       拉长时间看，该基金近5个交易日有4天主力资金净流出，合计流出4954.39万元，居可比基金首位。

       与此同时，该基金最新成交量为9988.14万份，最新成交额达1.03亿元，当日主力资金净流出成交额占比达10.74%。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。