2025年3月14日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收涨1.98%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流入2634.97万元，居可比基金第一。

       拉长时间看，该基金近30个交易日有21天主力资金净流入，合计流入2.16亿元，居可比基金首位。

       与此同时，该基金最新成交量为1.51亿份，最新成交额突破1.60亿元，居可比基金首位。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。