2025年2月19日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收涨5.01%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流入5931.19万元，居可比基金首位。

       拉长时间看，该基金近4天主力资金加速流入，合计流入7926.66万元，居可比基金第一。

       与此同时，该基金最新成交量为3.23亿份，最新成交额突破3.40亿元，居可比基金第一。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。