2025年2月12日，半导体设备材料ETF（159516.SZ）收涨3.02%，主力资金（单笔成交额100万元以上）净流入3365.27万元，居可比基金第一。

       拉长时间看，该基金近3天主力资金加速流入，合计流入4849.20万元，居可比基金第一。

       与此同时，该基金最新成交量为2.61亿份，最新成交额突破2.70亿元，居可比基金第一。

       半导体设备材料ETF（159516.SZ），场外联接(A类：019632；C类：019633）。