2023年10月31日午后，半导体板块水面下异动。截至14时5分，半导体设备ETF(561980)跌0.94%，水面下溢价交易，买盘活跃。成分股文一科技、雅克科技、飞凯材料涨幅居前。交投活跃，成交额超1300万。

图片来源：Wind，截至2023年10月31日

根据中投产业研究院发布的《2023-2027年中国半导体设备行业深度调研及投资前景预测报告》显示，近年来，我国半导体设备行业在下游快速发展的推动下，保持快速增长。2022年中国半导体设备市场规模为282.7亿美元，2017-2022年复合增长率为28%，增速明显高于全球。

根据国海证券的统计，光刻机国产化率低于1％，过程检测设备约为2％，离子注入设备3％，刻蚀设备7％，薄膜沉积设备8％，涂胶显影设备8％，CMP设备10％，清洗设备20％，对比2016年半导体设备国产化进程虽持续提升。