乐居财经 王敏  5月30日，华懋科技（603306）在互动平台上表示，徐州博康目前拥有10余款KrF光刻胶，主要应用在55-14nm节点，其中部分款已实现量产。

徐州博康的KrF光刻胶产品主要分为高分辨率正胶、高分辨率负胶、金属剥离负胶、厚胶四大类。高分辨正胶厚度可涵盖0.15um-1.2um，极限分辨率可达到120nm，徐州博康目前在积极推动高分辨率产品在国内主要晶圆厂客户的验证评估。